The physics of submicron lithography/
| Main Author: | |
|---|---|
| Corporate Author: | |
| Format: | Book |
| Language: | English |
| Published: |
New York:
Plenum Press,
c1992
|
| Series: | Microdevices
|
| Subjects: |
| Βιβλιοθήκη | Ταξιθετικός αριθμός | Αριθμός Αντιτύπων | Πληροφορίες | Κατάσταση |
|---|---|---|---|---|
| Δημοκρίτειο Πανεπιστήμιο Θράκης | TK 7874 | 2 | Προβολή | OPAC |