Silicon processing for the VLSI era/

Main Author: Wolf, Stanley, 1943-
Corporate Author: Lattice
Other Authors: Tauber, Richard N.
Format: Book
Language:English
Published: Sunset Beach, Calif.: Lattice Press, c1986-
Subjects:
LEADER 01001nam a2200253 a 4500
001 710303
005 20171111231049.0
008 991103m19869999gr r 000 0 eng d
020 |a 0961672137  |q τ. 1 
020 |a 0961672145  |q τ. 2 
020 |a 0961672153  |q τ. 3  |z 0096167237 
040 |a GR-KoDPT  |b gre  |e AACR2 
050 |a TK7874  |b .W635 
082 0 |2 19  |a 621.381/73 
100 1 |a Wolf, Stanley,  |d 1943- 
245 1 0 |a Silicon processing for the VLSI era/  |c Stanley Wolf, Richard N. Tauber 
260 |a Sunset Beach, Calif.:  |b Lattice Press,  |c c1986- 
300 |a τ. :  |b εικ. ;  |c 25 εκ. 
504 |a Περιέχει βιβλιογραφικές παραπομπές και ευρετήριο 
505 1 |a τ. 1. Process technology -- τ. 2. Process integration -- τ. 3. The Submicron MOSFET 
650 0 |a Integrated circuits  |x Very large scale integration 
700 1 |a Tauber, Richard N. 
710 |a Lattice 
952 |a GR-KoDPT  |b 59cc21d96c5ad13446f8b617  |c 998a  |d 945l  |e TK 7874.W635 1986  |t 3  |x m  |z Books