Silicon processing for the VLSI era/
| Main Author: | |
|---|---|
| Corporate Author: | |
| Other Authors: | |
| Format: | Book |
| Language: | English |
| Published: |
Sunset Beach, Calif.:
Lattice Press,
c1986-
|
| Subjects: |
| Physical Description: | τ. : εικ. ; 25 εκ. |
|---|---|
| Bibliography: | Περιέχει βιβλιογραφικές παραπομπές και ευρετήριο |
| ISBN: | 0961672137 0961672145 0961672153 |