Handbook of thin film process technology/

Other Authors: Glocker, David A., Shah, S. Ismat
Format: Book
Language:English
Published: Bristol Philadelphia: Institute of Physics Publishing, c2002
Subjects:
LEADER 01113nam a2200253 a 4500
001 944438
005 20171111231415.0
008 040317s2002 gr gry 001 0 eng d
020 |a 0750308311  |q τ. 1 
020 |a 075030832X  |q τ. 2 
020 |a 0750308338  |q set 
040 |a Gr-KaHUA  |b gre  |e AACR2 
082 0 |2 20  |a 621.38152 
245 0 0 |a Handbook of thin film process technology/  |c editors David A. Glocker, S. Ismat Shah ; editorial administrator Cynthia A. Morgan 
260 |a Bristol  |b Institute of Physics Publishing,  |c c2002  |a Philadelphia: 
300 |a 2 τ. :  |b εικ., πίν. ;  |c 31 εκ. 
504 |a Περιέχει βιβλιογραφικές παραπομπές και ευρετήριο 
650 1 7 |a Λεπτά υμένια  |x Εγχειρίδια κλπ. 
650 1 7 |a Επιφάνειες (Τεχνολογία)  |x Εγχειρίδια κλπ. 
650 1 0 |a Thin films  |x Handbooks, manuals, etc. 
650 1 0 |a Surfaces (Technology)  |x Handbooks, manuals, etc. 
700 1 |a Glocker, David A. 
700 1 |a Shah, S. Ismat 
952 |a GR-KaHUA  |b 59cca4dc6c5ad1344602fc62  |c 998a  |d 945l  |e 621.38152 HAN  |t 2  |x m  |z Books