Handbook of thin film process technology/
| Other Authors: | , |
|---|---|
| Format: | Book |
| Language: | English |
| Published: |
Bristol Philadelphia:
Institute of Physics Publishing,
c2002
|
| Subjects: |
| Physical Description: | 2 τ. : εικ., πίν. ; 31 εκ. |
|---|---|
| Bibliography: | Περιέχει βιβλιογραφικές παραπομπές και ευρετήριο |
| ISBN: | 0750308311 075030832X 0750308338 |