LEADER 00986nam a2200253 a 4500
001 654585
005 20171111230428.0
008 071003s2006 gr r 000 g eng d
020 |a 0849391385 
040 |a GR-IrASP  |b gre  |e AACR2 
082 0 |2 21η έκδ.  |a 621.381 MEM  |b gre 
245 0 0 |a MEMS:   |b design and fabrication/  |c edited by Mohamed Gad-el-Hak 
250 |a 2nd ed. 
260 |a Boca Raton:  |b CRC Press:  |c 2006  |b Taylor & Francis, 
300 |a ποικ. αριθμ. :  |b εικ., σχ. 
490 0 |a Mechanical engineering series / Frank Kreith, Roop Mahajan 
650 1 0 |a Μικροκατασκευή 
650 1 0 |a Μικροηλεκτρομηχανικά συστήματα  |x Σχέδιο και κατασκευή 
650 1 0 |a Microfabrication 
650 1 0 |a Microelectromechanical systems  |x Design and construction 
700 1 |a Gad-el-Hak, Mohamed 
710 0 |a CRC Press 
710 0 |a Taylor & Francis 
952 |a GR-IrASP  |b 59cc1b6b6c5ad13446f79e76  |c 998a  |d 945l  |e 621.381 MEM  |t 2  |x m  |z Books