Θεωρητική και πειραματική μελέτη μηχανισμών διάχυσης-αντίδρασης και σχηματισμού αδιάλυτου πλέγματος σε ρητίνες ηλεκτρονικής λιθογραφίας /

Main Author: Πάτσης, Γεώργιος Π
Corporate Authors: Εθνικό Μετσόβιο Πολυτεχνείο. Σχολή Εφαρμοσμένων Μαθηματικών και Φυσικών Επιστημών., Τομέας Φυσικής
Other Authors: Γλέζος, Νίκος
Format: Book
LEADER 01038nam a2200157 a 4500
001 631213
005 20171111230409.0
008 010309s1999----gr gr 000 0 Gre d
040 |a GR-AtNTU  |b gre 
100 1 |a Πάτσης, Γεώργιος Π 
245 1 0 |a Θεωρητική και πειραματική μελέτη μηχανισμών διάχυσης-αντίδρασης και σχηματισμού αδιάλυτου πλέγματος σε ρητίνες ηλεκτρονικής λιθογραφίας /  |c Γεώργιος Π. Πάτσης ; ; επιβλέπων: Ν. Γλέζος 
500 |a Εκπονήθηκε στο Ινστιτούτο Μικροηλεκτρονικής του ΕΚΕΦΕ "Δημόκριτος". 
700 1 |a Γλέζος, Νίκος 
710 0 |a Εθνικό Μετσόβιο Πολυτεχνείο.  |b Σχολή Εφαρμοσμένων Μαθηματικών και Φυσικών Επιστημών. 
710 0 |b Τομέας Φυσικής 
952 |a GR-AtNTU  |b 59cc192c6c5ad13446f73325  |c 998a  |d 945l  |e -  |t 1  |x m  |z Books