Description: Θεωρητική και πειραματική μελέτη μηχανισμών διάχυσης-αντίδρασης και σχηματισμού αδιάλυτου πλέγματος σε ρητίνες ηλεκτρονικής λιθογραφίας /

Main Author:	Πάτσης, Γεώργιος Π
Corporate Authors:	Εθνικό Μετσόβιο Πολυτεχνείο. Σχολή Εφαρμοσμένων Μαθηματικών και Φυσικών Επιστημών., Τομέας Φυσικής
Other Authors:	Γλέζος, Νίκος
Format:	Book

Item Description:	Εκπονήθηκε στο Ινστιτούτο Μικροηλεκτρονικής του ΕΚΕΦΕ "Δημόκριτος".