Ανάπτυξη λεπτών υμενίων βολφραμίου (W) με τη μεθοδο της χημικής εναπόθεσης από ατμό υπό ελαττωμένη πίεση (ΕΠΧΕΑ - LPCVD), με πυρόλυση ατμών W(CO)6 : εφαρμογές των υμενίων αυτών στην κατασκευή ανορθωτικών επαφών : W - Si και διόδων MOS : W - SiO2 - Si /
| Main Author: | |
|---|---|
| Corporate Authors: | , |
| Other Authors: | |
| Format: | Book |