|
|
|
|
| LEADER |
01210nam a2200145 a 4500 |
| 001 |
590482 |
| 005 |
20171111230047.0 |
| 008 |
110901s1996----gr gr 000 0 Gre d |
| 040 |
|
|
|a GR-AtNTU
|b gre
|
| 100 |
1 |
|
|a Μουτσάκης, Αντώνης
|
| 245 |
1 |
0 |
|a Ανάπτυξη λεπτών υμενίων βολφραμίου (W) με τη μεθοδο της χημικής εναπόθεσης από ατμό υπό ελαττωμένη πίεση (ΕΠΧΕΑ - LPCVD), με πυρόλυση ατμών W(CO)6 :
|b εφαρμογές των υμενίων αυτών στην κατασκευή ανορθωτικών επαφών : W - Si και διόδων MOS : W - SiO2 - Si /
|c Αντώνης Μουτσάκης ; ; επιβλέπων: Δημήτρης Τσαμάκης
|
| 700 |
1 |
|
|a Τσαμάκης, Δημήτρης Μ
|
| 710 |
0 |
|
|a Εθνικό Μετσόβιο Πολυτεχνείο.
|b Σχολή Ηλεκτρολόγων Μηχανικών και Μηχανικών Υπολογιστών.
|
| 710 |
0 |
|
|b Τομέας Ηλεκτρομαγνητικών Εφαρμογών, Ηλεκτροοπτικής και Ηλεκτρονικών Υλικών
|
| 952 |
|
|
|a GR-AtNTU
|b 59cc14dd6c5ad13446f688ea
|c 998a
|d 945l
|e -
|t 1
|x m
|z Books
|
