LEADER 01846nam a2200421 a 4500
001 1976828
005 20171111235910.0
008 090304s2002 gr r 000 0 eng d
020 |a 0849308267 
040 |a GR-VoPTK  |b gre 
050 |a TK7836  |b .M33 2002 
082 0 |2 22 εκδ.  |a 621.38152 
082 0 |2 21  |a 621.381 52 
082 0 |2 22  |a 621.38152 MAD 
100 1 0 |a Madou, Marc J. 
245 1 0 |a Fundamentals of microfabrication:   |b the science of miniaturization/  |c Marc J. Madou 
250 1 0 |a 2nd ed. 
260 1 0 |a Boca Raton, Fla.:  |b CRC,  |c c2002 
300 1 0 |a 723 p. :  |b ill. ;  |c 29 cm. 
504 1 0 |a Περιέχει βιβλιογραφικές αναφορές και ευρετήριο. 
504 1 0 |a Includes bibliographical references and index. 
504 1 0 |a Includes bibliographical references and index. 
650 1 0 |a ΜΙΚΡΟΗΛΕΚΤΡΟΝΙΚΗ 
650 1 0 |a ΟΛΟΚΛΗΡΩΜΕΝΑ ΚΥΚΛΩΜΑΤΑ  |x ΣΧΕΔΙΟ ΚΑΙ ΚΑΤΑΣΚΕΥΗ 
650 1 0 |a ΜΙΚΡΟΗΛΕΚΤΡΟΜΗΧΑΝΙΚΑ ΣΥΣΤΗΜΑΤΑ  |x ΣΧΕΔΙΟ ΚΑΙ ΚΑΤΑΣΚΕΥΗ 
650 1 0 |a ΛΕΙΖΕΡ  |x ΒΙΟΜΗΧΑΝΙΚΕΣ ΕΦΑΡΜΟΓΕΣ 
650 1 0 |a Microelectronics 
650 1 0 |a Integrated circuits  |x Design and construction 
650 1 0 |a Microelectromechanical systems  |x Design and construction 
650 1 0 |a Machining 
650 1 0 |a Microelectronic packaging 
650 1 0 |a Lasers  |x Industrial applications 
650 1 0 |a Microelectronics  |x Design and construction 
710 1 0 |a CRC 
952 |a GR-AtNTU  |b 59cc29ad6c5ad13446f9f100  |c 998a  |d 945l  |e 621.38152 MAD  |t 5  |x m  |z Books 
952 |a GR-VoPKT  |b 59cc894f6c5ad13446feb375  |c 998a  |d 945l  |e 621.381 52 MAD  |t 1  |x m  |z Books 
952 |a GRThAnMak  |b 59cca14b6c5ad1344602575d  |c 998a  |d 945l  |x m  |z Books 
952 |a CY-NiOUC  |b 5a042e346c5ad14ac1e87f97  |c 998a  |d 945l  |e TK7836.M33 2002  |t 1  |x m  |z Books