Description: Fundamentals of microfabrication:

Main Author:	Madou, Marc J.
Corporate Author:	CRC
Format:	Book
Language:	English
Published:	Boca Raton, Fla.: CRC, c2002
Edition:	2nd ed.
Subjects:	ΜΙΚΡΟΗΛΕΚΤΡΟΝΙΚΗ ΟΛΟΚΛΗΡΩΜΕΝΑ ΚΥΚΛΩΜΑΤΑ > ΣΧΕΔΙΟ ΚΑΙ ΚΑΤΑΣΚΕΥΗ ΜΙΚΡΟΗΛΕΚΤΡΟΜΗΧΑΝΙΚΑ ΣΥΣΤΗΜΑΤΑ > ΣΧΕΔΙΟ ΚΑΙ ΚΑΤΑΣΚΕΥΗ ΛΕΙΖΕΡ > ΒΙΟΜΗΧΑΝΙΚΕΣ ΕΦΑΡΜΟΓΕΣ Microelectronics Integrated circuits > Design and construction Microelectromechanical systems > Design and construction Machining Microelectronic packaging Lasers > Industrial applications Microelectronics > Design and construction

Physical Description:	723 p. : ill. ; 29 cm.
Bibliography:	Περιέχει βιβλιογραφικές αναφορές και ευρετήριο. Includes bibliographical references and index. Includes bibliographical references and index.
ISBN:	0849308267