Handbook of semiconductor manufacturing technology/
| Corporate Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | Book |
| Language: | English |
| Published: |
Boca Raton:
CRC Press,
c2008
|
| Edition: | 2η έκδ. |
| Subjects: |
| Physical Description: | [αρ. ποικ.] : εικ., πίν. ; 26 εκ. |
|---|---|
| Bibliography: | Περιλαμβάνει βιβλιογραφικές αναφορές και ευρετήριο. |
| ISBN: | 1574446754 |