Computational modeling in semiconductor processing/

Corporate Author: Artech House
Other Authors: Meyyappan, M.
Format: Book
Language:English
Published: Boston: Artech House, c1995
Series:Artech House materials science library
Subjects:
LEADER 00890nam a2200229 a 4500
001 780581
005 20171111231151.0
008 990708s1995 gr r 000 0 eng d
020 |a 0890067074 
040 |a GR-KoDPT  |b gre  |e AACR2 
050 |a TK7871.85  |b .C593 1995 
082 0 |2 20  |a 621.3815/2/0113 
245 0 0 |a Computational modeling in semiconductor processing/  |c M. Meyyappan, editor 
260 |a Boston:  |b Artech House,  |c c1995 
300 |a x, 363 σ. :  |b εικ. ;  |c 24 εκ. 
490 0 |a Artech House materials science library 
504 |a Περιέχει βιβλιογραφικές παραπομπές και ευρετήριο 
650 0 |a Semiconductors  |x Design and construction  |x Data processing 
650 0 |a Process control  |x Mathematical models 
700 1 |a Meyyappan, M. 
710 |a Artech House 
952 |a GR-KoDPT  |b 59cc2c7f6c5ad13446fa649e  |c 998a  |d 945l  |e TK 7871 .85  |t 2  |x m  |z Books