Νέα υλικά και διεργασίες για μικρολιθογραφία υψηλής διακριτικής ικανότητας /
| Main Author: | |
|---|---|
| Corporate Authors: | , |
| Format: | Book |
| LEADER | 00694nam a2200133 a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 661130 | ||
| 005 | 20171111230433.0 | ||
| 008 | 031022s2002----gr gr 000 0 Gre d | ||
| 040 | |a GR-AtNTU |b gre | ||
| 100 | 1 | |a Βασιλοπούλου, Μαρία | |
| 245 | 1 | 0 | |a Νέα υλικά και διεργασίες για μικρολιθογραφία υψηλής διακριτικής ικανότητας / |c Βασιλοπούλου Μαρία |
| 710 | 0 | |a Εθνικό Μετσόβιο Πολυτεχνείο. |b Σχολή Χημικών Μηχανικών. | |
| 710 | 0 | |b Τομέας Επιστήμης και Τεχνικής των Υλικών | |
| 952 | |a GR-AtNTU |b 59cc1c676c5ad13446f7c873 |c 998a |d 945l |e - |t 2 |x m |z Books | ||