Προσομοίωση διάλυσης λεπτών υμενίων πολυμερών μικρολιθογραφίας με στοχαστικά μοντέλα /

Main Author: Σαρρής, Βασίλειος Α
Corporate Authors: Εθνικό Μετσόβιο Πολυτεχνείο. Σχολή Χημικών Μηχανικών., Τομέας Ανάλυσης, Σχεδιασμού και Ανάπτυξης Διεργασιών και Συστημάτων
Format: Book
LEADER 00764nam a2200133 a 4500
001 567838
005 20171111230030.0
008 040301s2002----gr gr 000 0 Gre d
040 |a GR-AtNTU  |b gre 
100 1 |a Σαρρής, Βασίλειος Α 
245 1 0 |a Προσομοίωση διάλυσης λεπτών υμενίων πολυμερών μικρολιθογραφίας με στοχαστικά μοντέλα /  |c Βασίλειος Α. Σαρρής 
710 0 |a Εθνικό Μετσόβιο Πολυτεχνείο.  |b Σχολή Χημικών Μηχανικών. 
710 0 |b Τομέας Ανάλυσης, Σχεδιασμού και Ανάπτυξης Διεργασιών και Συστημάτων 
952 |a GR-AtNTU  |b 59cc11d86c5ad13446f62bdf  |c 998a  |d 945l  |e -  |t 1  |x m  |z Books