Plasma processes for semiconductor fabrication /
| Main Author: | |
|---|---|
| Corporate Author: | |
| Format: | Book |
| Language: | English |
| Published: |
Cambridge ; New York :
Cambridge University Press,
1999
|
| Series: | Cambridge studies in semiconductor physics and microelectronic engineering
8 |
| Subjects: |
| Βιβλιοθήκη | Ταξιθετικός αριθμός | Αριθμός Αντιτύπων | Πληροφορίες | Κατάσταση |
|---|---|---|---|---|
| Εθνικό Μετσόβιο Πολυτεχνείο | 621.38152 HIT | 2 | Προβολή | OPAC |
| Δημοκρίτειο Πανεπιστήμιο Θράκης | TK 7871 .85 | 2 | Προβολή | OPAC |