Post-process techniques for integrated MEMS/
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Book |
| Language: | English |
| Published: |
Boston ; London:
Artech House,
c2006
|
| Series: | Artech House Microelectromechanical systems series
|
| Subjects: |
| Βιβλιοθήκη | Ταξιθετικός αριθμός | Αριθμός Αντιτύπων | Πληροφορίες | Κατάσταση |
|---|---|---|---|---|
| Πανεπιστήμιο Κύπρου - Ανοιχτό Πανεπιστήμιο Κύπρου | TK7875.S43 2006 | 1 | Προβολή | OPAC |