Shape and functional elements of the bulk silicon microtechnique: a manual of wet-etched silicon structures/

Main Author: Fruhauf, Joachim
Format: Book
Language:English
Published: Berlin ; New York: Springer, c2005
Subjects:
ΒιβλιοθήκηΤαξιθετικός αριθμόςΑριθμός ΑντιτύπωνΠληροφορίεςΚατάσταση
Πανεπιστήμιο Κύπρου - Ανοιχτό Πανεπιστήμιο ΚύπρουQC611.8.S5F48 20051ΠροβολήOPAC