Ion implantation in semiconductors/

Main Author: Stievenard, D.
Corporate Author: Trans Tech
Other Authors: Bourgoin, J. C.
Format: Book
Language:English
Published: Aedermannsdorf, Switzerland ; Brookfield, VT, USA: Trans Tech Publications, c1988
Subjects:
LEADER 01202nam a2200289 a 4500
001 2035182
005 20171112000032.0
008 000418s1988 gr r 000 0 eng d
020 |a 0878495754 
040 |a GR-KoDPT  |b gre  |e AACR2 
082 0 |a 621.38152 
100 1 0 |a Stievenard, D. 
245 0 0 |a Ion implantation in semiconductors/  |c D. Stievenard, J. C. Bourgoin 
260 0 0 |a Aedermannsdorf, Switzerland ;  |b Trans Tech Publications,  |c c1988  |a Brookfield, VT, USA: 
300 0 0 |a v, 473 σ. :  |b εικ. ;  |c 25 εκ. 
500 0 0 |a "Previously published in Diffusion and defect data pt. B: solid state phenomena"--Verso σ.τ. 
504 0 0 |a Περιέχει βιβλιογραφικές παραπομπές και ευρετήριο 
504 0 0 |a Includes bibliographical references and index 
650 0 0 |a Ion implantation 
650 0 0 |a Semiconductors 
650 0 0 |a Semiconductor doping 
650 0 0 |a Semiconductors  |x Effect of radiation on 
650 0 0 |a Ion implantation 
700 1 0 |a Bourgoin, J. C. 
710 1 0 |a Trans Tech 
952 |a GrAtEKP  |b 59cd262e6c5ad1344610cb3c  |c 998a  |d 945l  |e 621.38152 StiD i 1988  |t 1  |x m  |z Books 
952 |a GR-KoDPT  |b 59cc34956c5ad13446fb1fa9  |c 998a  |d 945l  |e TK 7871 .85  |t 1  |x m  |z Books